Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) совместно с белорусским «Планаром» завершил третий этап опытно-конструкторских работ по созданию первой отечественной фотолитографической установки с проектными нормами 130 нм. Акт сдачи-приемки подписан 7 августа 2026 года. Установка предназначена для проекционного переноса изображения интегральных схем на кремниевые пластины диаметром до 200 мм.
Ключевые компоненты и роли распределились так: ЗНТЦ выступил интегратором — проектирование системы, расчеты проекционных линз, разработка тест-оборудования и моделирование техпроцесса; «Планар» отвечал за механические сборки и пусконаладку; эксимерные лазеры с длиной волны 193 нм разработала компания «Лассард». Полная стоимость программы ОКР составила около $70 млн, при этом стоимость самого прототипа оценивается примерно в $7,3 млн — $6,7 млн за степпер и $600 тыс. за лазерный источник. Первый вице-премьер РФ Денис Мантуров отметил, что собственный эксимерный лазер позволил России войти в узкий круг стран, владеющих этой технологией.
Техпроцесс 130 нм соответствует уровню 2001–2002 годов, однако на нем можно выпускать чипы для IoT, автомобильную электронику, радиочастотные микросхемы и промышленные датчики. Сейчас прототип проходит внутренние инженерные и приемочные испытания; переход к реальному использованию на фабриках потребует времени на валидацию процесса — подбор фоторезиста, дозы экспозиции и контроль перекрытия. Параллельно в Зеленограде создается научно-технологический центр для поэтапного освоения норм вплоть до 28 нм.
Источник: CNews / ТАСС / «Правда.ру»
