ЗНТЦ и «Планар» завершили третий этап создания 130-нм литографа

ЗНТЦ и «Планар» завершили третий этап создания 130-нм литографа Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) совместно с белорусским «Планаром» завершил третий этап опытно-конструкторских работ по созданию первой отечественной фотолитог